Application of time - optimal auto - alignment system in DSW photolithog - raphic process is investigated in this paper.
本文研究了最 短時 問控制系統在DSW光刻機自動對準系統中的應用問題.
相關詞匯
ofprep. 關于，屬于…的，由…制成；aux. 助動詞 [非標準用語、方言] =have [主用于虛擬語氣]；
timen. 時間，時刻，時代，次；vt. 為…安排時間，測定…的時間，調準（機械的）速度，撥準（鐘、表）的快慢；vi. 合拍，和諧，打拍子；adj. 定時的，定期的，[美國英語]分期（付款）的；int. [體育]時間到，（一場或一局等的）比賽時限，暫停；
inprep. 采用（某種方式），穿著，帶著，（表示位置）在…里面，（表示領域，范圍）在…以內，（表示品質、能力等）在…之中；adv. 在家，進入，到達，流行，當選；adj. 在內的，朝內的，在位的，執政的，[口語]流行的，時髦的，（車等）到站的；n. 執政黨，掌權者，知情者，<美口>入口，門路，<體>（板球或棒球）攻球的一方；
dswabbr. door switch （電梯）門開關；
processn. 過程，工序，做事方法，工藝流程；vt. 加工，處理，審閱，審核；vi. 列隊行進；
isvt.& vi. 是（be的三單形式；n. 存在；
thispron. 這，這個，這事，這人，這時，下面所說的事；adj. 這，這個，剛過去的，即將到來的，今…，本…；adv. 這樣地，就是這樣，這么地；
papern. 紙，文件，論文，文章；vt.& vi. 貼紙；vt. 包裝，用紙覆蓋，貼壁紙，提供紙張，[俚語] 提供免費入場券；vi. 貼糊墻紙，發交通違章傳票；adj. 紙制的，似紙的，有名無實的；