Plasma - induced damage on 90 nm Cu dual Damascene technology devices is investigated.
研究了等離子體工藝對90nm銅大馬士革工藝器件的損傷.
相關(guān)詞匯
plasman. 血漿,原生質(zhì),細(xì)胞質(zhì),乳清,[物]等離子體;
inducedadj. 感應(yīng)的;v. 引誘( induce的過去式和過去分詞 ),<正>引起,催產(chǎn),催生;
damagevt.& vi. 損害,毀壞;n. 損害,損毀,賠償金;
onprep. (表示方向)向,(表示對象)對,(表示位置)在…上,(表示時(shí)間)在…之時(shí);adv. (放,穿,連接)上,向前,(繼續(xù))下去;adj. 活動(dòng)著的情況,狀態(tài),使用著的,發(fā)生著的,計(jì)劃中的;
CUabbr. Cuba 古巴,Control Unit 控制器,Control Unit 控制器;
dualadj. 雙的,兩部分的,二體的,二重的;n. 雙數(shù),雙數(shù)詞;
damascenevt. (用金銀)鑲嵌,(用焊接方法)以波狀花紋裝飾;n. 鑲嵌工藝,鑲嵌金銀的物品,波狀花紋制品;adj. (有關(guān))鑲嵌金銀的,使現(xiàn)波狀紋的,用鑲嵌工藝生產(chǎn)的;
technologyn. 科技(總稱),工業(yè)技術(shù),工藝學(xué),[總稱]術(shù)語;
devicesn. 設(shè)備,裝置( device的名詞復(fù)數(shù) ),花招,(為實(shí)現(xiàn)某種目的的)計(jì)劃,手段;
isvt.& vi. 是(be的三單形式;n. 存在;