Plasma - induced damage on 90 nm Cu dual Damascene technology devices is investigated.
研究了等離子體工藝對90nm銅大馬士革工藝器件的損傷.
相關(guān)詞匯
plasman. 血漿，原生質(zhì)，細(xì)胞質(zhì)，乳清，[物]等離子體；
inducedadj. 感應(yīng)的；v. 引誘( induce的過去式和過去分詞 )，<正>引起，催產(chǎn)，催生；
damagevt.& vi. 損害，毀壞；n. 損害，損毀，賠償金；
onprep. （表示方向）向，（表示對象）對，（表示位置）在…上，（表示時(shí)間）在…之時(shí)；adv. （放，穿，連接）上，向前，（繼續(xù)）下去；adj. 活動(dòng)著的情況，狀態(tài)，使用著的，發(fā)生著的，計(jì)劃中的；
CUabbr. Cuba 古巴，Control Unit 控制器，Control Unit 控制器；
dualadj. 雙的，兩部分的，二體的，二重的；n. 雙數(shù)，雙數(shù)詞；
damascenevt. （用金銀）鑲嵌，（用焊接方法）以波狀花紋裝飾；n. 鑲嵌工藝，鑲嵌金銀的物品，波狀花紋制品；adj. （有關(guān)）鑲嵌金銀的，使現(xiàn)波狀紋的，用鑲嵌工藝生產(chǎn)的；
technologyn. 科技（總稱），工業(yè)技術(shù)，工藝學(xué)，[總稱]術(shù)語；
devicesn. 設(shè)備，裝置( device的名詞復(fù)數(shù) )，花招，（為實(shí)現(xiàn)某種目的的）計(jì)劃，手段；
isvt.& vi. 是（be的三單形式；n. 存在；